|
|
 |
|
電漿產品設備 |
|
 |
|
電漿產品設備 |
|
微波電漿設備 |
|
陣列天線式大面積電漿產生器設備 |
| 應用： |
| ★ |
塑膠/紡纖/高分子材料之聚合、改質、表面清洗與活化處理 |
| ★ |
半導體Plasma Enhanced CVD、Etching |
| ★ |
電子機械製品之表面處理/清洗 |
| ★ |
金屬工件表面清洗及硬化處理 |
| ★ |
高科技資源材料(晶圓、光電)回收處理 |
| ★ |
製程尺寸(公分)：32 x 32，57 x 26，41 x 42；連續製程組合尺寸最大可達200 x 100以上 |
|
示意圖：
 |
|
 |
|
|
|
工業泛用型微波電漿 |
| 應用： |
| ★ |
塑膠/紡纖/高分子材料之聚合、改質、表面清洗與活化處理 |
| ★ |
PE-CVD、蝕刻、清洗、表面處理 |
| ★ |
高科技資源材料回收處理 |
|
|
|
|
|
電漿火炬 |
| 應用： |
| ★ |
毒性氣體分解，高溫焚化處理
|
| ★ |
奈米粉體、CNT等材料製程 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
 |
|
|
