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電漿產品設備

電漿產品設備

微波電漿設備

陣列天線式大面積電漿產生器設備

應用:
塑膠/紡纖/高分子材料之聚合、改質、表面清洗與活化處理
半導體Plasma Enhanced CVD、Etching
電子機械製品之表面處理/清洗
金屬工件表面清洗及硬化處理
高科技資源材料(晶圓、光電)回收處理
製程尺寸(公分):32 x 32,57 x 26,41 x 42;連續製程組合尺寸最大可達200 x 100以上
示意圖: 

工業泛用型微波電漿

應用:
塑膠/紡纖/高分子材料之聚合、改質、表面清洗與活化處理
PE-CVD、蝕刻、清洗、表面處理
高科技資源材料回收處理

電漿火炬

應用:
毒性氣體分解,高溫焚化處理
奈米粉體、CNT等材料製程

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4F-4, 13, Wuquan 1st Rd., XinZhuang, New Taipei City, Taiwan 24892
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